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授業概要
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様々な分野に使用される薄膜作製技術について、気相堆積法を中心に講義を行う。関連するプラズマ、真空についても講義を行う。
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到達すべき
目標
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種々の薄膜作製法の利点、欠点を理解すること、作製された膜の評価手法について理解することを目標とする。関連技術についての理解も深める。
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授業計画と
準備学習
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第１回：薄膜作製技術の概要
第２回：気相の化学反応、
第３回：表面反応
第４回：PVDプロセス
第５回：CVDプロセス
第６回：プラズマ
第７回：真空
第８回：薄膜の評価手法
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授業の特色
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学生のアク
ティブ・ラー
ニングを
促す取組
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研究で使用している装置が一般的な装置と比較して何が特徴的なのかを理解するため、受講者が実験装置についての理解を深めるようにする。
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使用言語
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TA，SA配置
予定
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基盤的能力
専門的能力
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授業時間外
の学習
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関連する文献を提示するので、授業時間外に勉強する。
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成績評価の
方法
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到達度評価
の観点
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テキスト
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テキスト
(詳細)
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参考文献
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参考文献
(詳細)
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担当教員実
務経験内容
または実践
的教育内容
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実践的授業
内容等
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備考
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【講義の実施形態】
受講生と相談し、対面または遠隔で実施する。
遠隔で実施する場合は同時配信で実施する。
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